Новосибирские физики возродят советский синхотрон для производства микросхем

Специалисты Института ядерной физики им. Г. И. Будкера СО РАН (Новосибирск) за три года планируют восстановить технологический накопительный комплекс (ТНК) в Зеленограде. Об этом сообщил директор института, академик РАН Павел Логачев.

Установка представляет собой источник синхотронного излучения- это большое кольцо, по которому в вакууме по изогнутой траектории летает со скоростью, близкой к скорости света, пучок электронов.

При повороте электроны дают рентгеновское излучение, уникальное по своим характеристикам — с его помощью можно изучать материалы и химические реакции. Свет синхротрона позволяет увидеть атомную структуру вещества, процесс возникновения и разрыва химических связей между атомами.

По словам Логачева, сам технологический накопительный комплекс будет востребован для разработки отечественной технологической цепочки производства микроэлектроники. Это будет основной инструмент, который позволит создавать, испытывать и отлаживать технологию так называемых литографов, которые делает, фактически, одна компания в мире, добавил он и уточнил, что комплекс был разработан еще в конце 80-хх.

«Мы запустим этот комплекс через три года, он будет основным элементом разработки литографа», - сказал Логачев, уточнив, что стоимость проекта - около 500 млн рублей.

Кроме того, в институте также приступили к созданию ускорительной части отечественного имплантора для микроэлектроники - устройства, работа по которому ведется совместно с НИИ точного машиностроения (Зеленоград), разрабатывающим систему подготовки и перемещения кремниевых пластин.

«Мы делаем ускоритель специальный для разгона ионов, которые имплантируются, то есть внедряются, в поверхностную область этих полупроводниковых пластин», - сказал Логачев. Имплантация ионов на пластину проводится несколько десятков раз за технологический цикл изготовления микросхем, уточнил он.

«Здесь тоже за три года мы сделаем опытный образец машины на средние энергии и на высокие энергии, и, таким образом, совместно с НИИ точного машиностроения постараемся эту позицию закрыть в технологической цепочке», - сказал академик.

В данном случае, отметил Логачев, ускорительная часть будет напоминать промышленные ускорители.

Обе технологии являются ключевыми для функционирования микроэлектронной промышленности.